Vacuum mensura

Exiguitas gasi etiam a densitate gasi hypothetica (numerum moleculorum gasorum per volumen unitatis) describi potest. Nam specimen gas moleculi in aequilibrio perfecto, P=nkT, k est Boltzmann constans, et T est temperatura absoluta. Mensurandi gradum vacuum METIOR dicitur, et elementum sensitivum vacui METIOR dicitur caput METIOR. Quidam gauges vacuum metiri possunt directe summam pressionis gasi. Etsi vacui nonnullae lectiones pressionem etiam praebent, mensura ipsa est densitas gasi hypothetica, et mensurae eventus ad temperatura ambientem referuntur. Cum multae partes gasi in continente simul sunt, summa pressio gasi in continente aequalis est summae pressionum partialium cuiusque gasi. Tota pressionis mensurae mensurae in duo genera dividi possunt: ​​methodus directa et methodus indirecta. Methodus directa principiis liquidae columnae differentiae et deformationis mechanicae ut directe metiatur pressionis, incluso liquido gradu pressionis gauges, compressio vacui gauges, et elementum vacuum elasticis gauges. Secundum quantitates physicas duobus primis instrumentis mensuratis, pressionis valoris computari potest, quod pertinet ad coniecturam vacuum absolutum. Methodus indirecta utitur nonnullis proprietatibus corporis gasi (ut caloris conductionis, viscositatis, ionizationis et lucis dispersionis effectus, etc.) ad pressuram metiendam, incluso calore conductionis vacuum METIOR, viscosum vacui coniecturam et ionizationem vacuum METIOR. Magna pars vacui meandi usus in technologia vacuo methodo obliqua utuntur, et hae gauges vacuum cum absolutis gaugiis vel aliis modis calibrari debent. Pro vacui coniectura metiri methodo indirecta, ob varias physicas proprietates diversorum generum gasorum, etiam sub eadem pressione, lectiones pressionis variant cum gas, ut calibrari debeat cum Gas respondente. Cum Gas metiri una pars non est, significatione harum lectionum vacui coniecturam magis implicat. Cum gas, in calibratione vacui generatim METIOR, NITROGENIUM mera est, lectiones horum gauges vacuum collective referuntur ad pressionem nitrogeni aequivalentem antequam genus gasi correctum est. Cum spatium mensuratum varias partes gasi continet, solum pressionis partialis mensurae accurate reflectere potest statum vacuum et pressionem totalem in continente.

Commune vacuum gauges

1. Scelerisque Conductivity Vacuum Gauge

Pressura gasi mensuratur utens principio quod conductivity scelerisque gasi mutationibus cum diversis pressionibus. In hoc genere vacui coniecturae, quaedam vena calefactio per coniecturam capitis filo calido instructam transiit, et temperatura filum calidum determinatur per proportionem inter calefactionem et calorem dissipationis. Dissipatio caloris capacitas est functio pressionis gasi, sic temperatura filum calidum cum pressione variat. Si thermocouple addito adhibetur ad filum calidum metiri temperaturam, haec coniectura capitis METIOR vocatur; si resistentia valor ipsius fili calefacti ad temperiem reflectendam adhibetur, resistentia gaugia vel Pirani gauge dicitur. Gas calor conductionis tantum mutat cum pressione ad pressuram humilis (P<100 Pa), et conductio caloris gasi non est principalis methodus dissipationis caloris cum tam gravis est quam 10-1 Pa. teli 100-10-1 Ps. Praecipua mensurae mensurae extendere potest. Indicatio caloris conductionis vacuum METIOR non solum ad genus gasi refertur, sed etiam facile a factoribus afficitur ut contagione superficiei filum calefactionis, caliditatis ambientis, etc. asperum vacuum propter indicationem.

2. Pirani vacuum coniecturam

Eius operandi principium est: gradus vacuum differt, numerus molecularum aeris per unitatem voluminis differt, facultas resistentiae calefactionis ad tollendum calorem (facultas caloris dissipationis) differt, et temperatura filum resistentiae differt. propterea quod resistentia filum resistentiae est temperatura. Diversi igitur gradus vacui causae resistivity different, resistentia ergo diversa est, et gutta voltage currentis in filum resistentiae diversum est. Secundum mutationem intentionis, pressura aeris converti potest, id est, vacui gradus mensuratur. Vacuum coniectura ipsa Pirani plerumque in quattuor brachiis ponte facta est, et est resistentia filum pro temperamento mercedis in serie cum eo.

3. Capacative film vacuum METIOR

Elementum elasticum est coniecturam vacuum, et cinematographicum elasticum moderantem cubiculum vacuum in duo parva cubicula dividit, scilicet pressionis cubiculi et cubiculi mensurationis referentem. Cum pressionis humilis (P<100Pa) mensuratur, cubiculi relatio evacuatur ad vacuum altum, eiusque pressionis nulla fere est. Cum pressionis in cubiculi mensurae differt, gradus deformationis membranae etiam alius est. Electroda stataria est in conclavi mensurae, quae capacitorem cum membrana efformat. Cum deforme cinematographicum est, capacitas valoris secundum mutationes, et mutatio capacitatis per pontem capacitatis metiri potest ad valorem respondentem pressionis determinare. Ad obreptionem cinematographici ne, methodus nulla positio pro mensurandis adhiberi solet, hoc est DC voltage inter electrode fixi et cinematographici, et vis electrostatica accentus generatus a pressione ad restitutionem adhibetur. differentia movendi diaphragma in nulla positione servare. Facultas movendi vacui coniecturam directe metiri potest pressionem gasi vel vaporis. Mensuratio valoris nihil ad genus gasi, structura firma est, et pistoria resistere potest. Si capita coniecturae diversae pro diversis pressionibus pressionis adhibentur, altior accuratio obtineri potest. Facultas cinematographica vacui cinematographica adhiberi possunt ad magnae puritatis gasi vigilantiae, humilis-vacui certae mensurae et pressionis temperantiae, ac etiam adhiberi potest ut secundarius mensurae mensurae humilis vacui.

4. vacuum ionization METIOR

Abbreviatur ut ionometer, principio gas ionizationis utitur ut metiendis pressionis. Ionization vacuum gauges in duo genera dividuntur: cathode calida et frigida cathode. Solent tres electrodes in coniectura capitis ionizationis cathode calidae, vacuum coniecturam facere, scilicet cathode, anode et collectore, quae partes emittendi electrons, electronicas accelerantes et respective iones colligentes. Electrones ionize gas in processu movendi ab cathode ad anode. Si secundae ionizationis effectus neglectus est (scilicet novos electronicos in processu ionizationis generatos accelerari ab agro electrico et ionizationem consequi facultatem et novam ionizationem causare), unumquodque electronicum e cathode emissum ionizatum est. Numerus positiuum productarum est proportionalis densitati gasi in spatio, ideoque pressioni ad aliquam temperiem proportionalis. Ergo ion vena Ii=SIeP a collectore receptum est, Ie est emissio cathode electronica, et S est constans proportionalitas, quae coefficiens ionometer appellatur. Post ionizationem metri coefficientem comprobato cum signo vacuo coniecturam in quadam temperie, pressionis secundum quantitatem ion currentis determinari potest. Praecipuum genus cathodae ionizationis calidae metiendi capitis. Cathode plerumque e filo tungsteno conficitur, et anodium in euismod fieri potest, ut electrons hinc inde commeare possit ad iter electronicorum augendum, ita etiam est. dicta malesuada euismod. Collector triodi ionometri est cylindricus et extra craticulam positus, eiusque pressionis mensurae mensurae 10-1 ad 10-5 pa., cum operandi pressio altior quam 10-1 Pa, vita tungsten breviatur; relatio inter ion venam et pressionem incipit a linearitate deflectere propter effectum ionizationem secundarium. Iridium filamentum cathodes cum thorio oxydatis vel yttrium oxydatum obductis in pressuris usque ad 100 Pa laborare potest et vitam satis longam habere, et filamentum etiam in atmosphaera calefactum laedi non potest. Si ionizatio coniecturae caput hoc filamento adoptat, et anodium et collector in formas speciales fiunt, distantia inter electrodes minuitur, anode intentione minuitur, et probabilitas ionizatio gasi reducitur (id est, ionizationis coniectura coefficientis. reducta est), ergo haec ionization gaugia mensurare potest pressionem 10-3 ad 100 Pa vocatam altam pressionem ionizationis metri. Terminus inferior intensionis humilitatis intentionis mensuratae per metrum triode ionizationis determinatur per photocurrentem collectoris, hoc est, propter photoemissionem causatam per mollem X-radium genitum ab electronico anoode irradiante decumano ferendi, quod curriculum photographicum curriculum vitae collectoris constitutum est. Cum rationes photocurrentes pro 10% of currentis ion, ad mensuram mensurae inferioris ionometri ventum est. Ionizatio coniectura capitis collector factus est in filamentum et in axe eget. Filamentum extra eget. Hoc tempore, sensibilitas ionizationis coniecturae multum non mutat et ob parvam aream collectoris, X radius ab eo interceptus minor est quam tres ordines magnitudinis minoris triodii generis, hic ionometer pressuras metiri potest. usque ad 10-8 Pa. Propositum est a Bayard et Albert anno 1950, sic vocatur BA. Ad pressionem 10-9 Pa vel inferioris, metri BA modulata, ionizatio poli metri, columna curva ionization metri vel cathode magnetron ionizatio metri calida adhiberi potest. Hae ionometrae etiam quodammodo excludunt influentiam electronicorum portae inductus in pressionum mensuris dissolutis in mensuris